SERA(セラ) ECE?S系列 SUS外殼型藥液加熱器｜半導體工藝藥液在線恒溫加熱設備

日本 SERA (セラ) ECE?S 系列 SUS 外殼型藥液加熱器 半導體工藝藥液在線加熱器 產品簡介：SERA ECE?S系列藥液加熱器是日本SERA推出的管路式藥液加熱設備，外殼采用SUS不銹鋼材質，專門面向半導體、面板行業濕法工藝開發。在濕法清洗、蝕刻工藝中，化學藥液的溫度直接影響產品良率，同時藥液大多具備酸堿腐蝕性，普通加熱設備容易被腐蝕，造成金屬離子析出污染藥劑。ECE?S系列加熱器外殼采用SUS不銹鋼結構，防護等級高，能夠適應車間腐蝕性潮濕環境；與藥液接觸部件經過耐腐處理，可適配多種強酸、強堿工藝藥液，抑制雜質析出，保證藥液潔凈度。設備采用管路在線式加熱，藥液流動過程完成熱交換，有效規避局部過熱現象，整臺設備搭載閉環溫控系統，工藝溫度可設定，溫度輸出穩定均勻。設備體積小巧，管路接口標準化，既可以配套新建生產線，也能夠對原有藥液循環系統進行改造加裝，同時內置過熱保護功能，發生異常時自動防護，保障整套藥液系統安全連續運行，廣泛應用半導體、顯示面板、精密清洗等行業。

日本 SERA (セラ) ECE?S 系列 SUS 外殼型藥液加熱器 半導體工藝藥液在線加熱器 技術參數

產品核心優勢

• SUS不銹鋼外殼，抗車間腐蝕潮濕環境，外殼結構堅固耐用；

• 藥液接觸部位耐酸堿腐蝕，降低金屬離子析出，保護藥液潔凈度；

• 管路在線流動加熱，避免局部過熱，藥液整體溫度均勻一致；

• 閉環溫控系統，控溫精度高，滿足半導體濕法嚴苛工藝要求；

• 標準化管路接口，安裝集成簡單，適配新項目配套與舊產線改造；

• 過熱保護機制，異常自動防護，保障產線長時間連續穩定運行。

典型應用領域

半導體濕法清洗工序藥液恒溫加熱；蝕刻工藝化學試劑加溫控溫；電子零部件精密清洗藥液加熱；顯示面板制造濕法工藝藥劑加熱；化工中試、實驗室腐蝕性藥液溫控；各類酸堿藥劑循環管路在線加熱場景。