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    KAGATECHNO石英在線加熱器：半導體藥液循環

    發布時間： 2026-02-06　　點擊次數： 165次
    1. 產品定位日本加賀テクノ（KAGATECHNO）石英在線加熱器，專為半導體濕法工藝中藥液循環加熱設計，適用于氨水過氧化物（SC-1）、磷酸等腐蝕性藥液，應用于氮化硅刻蝕及擴散前清洗工序。
    2. 核心技術
    • Inconel網目發熱體：鎳鉻鐵合金直接熔接于石英筒外壁，耐腐蝕、抗空燒，解決傳統繞線加熱器斷線及氣囊積聚導致的局部過熱問題
    • 石英雙重管結構：內管走藥液（零金屬污染），外管包裹發熱體，即使外管破損也不污染藥液
    • 阻燃FRPP外殼：內置溫度監測，過熱自動保護
    3. 關鍵參數
    指標參數
    功率2.2/4.4/6.5kW
    電壓單相200V
    溫度室溫～160℃
    適用藥液SC-1、磷酸
    接頭3/4英寸石英法蘭
    4. 應用價值直通式結構無液滯留，在線串聯于循環回路實現精準溫控。相比投浸式加熱器，支持不停機維護，熱響應更快，是RCA清洗及氮化硅刻蝕等關鍵工序的高可靠性加熱解決方案。


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