EKUSA EHS系列半導體用超純水在線加熱器｜超純水管路式恒溫加熱裝置

EKUSA EHS 系列半導體用超純水在線加熱器 超純水管路式加熱裝置 產品簡介：EKUSA（エクサ）EHS系列超純水在線加熱器是面向半導體行業(yè)濕法工藝開發(fā)的管路式在線加熱設備。在半導體晶圓清洗、濕法蝕刻等工序中，超純水的溫度穩(wěn)定性直接影響清洗效果與產品良率，該設備直接串聯在超純水輸送管路當中，對流動狀態(tài)下的超純水實現連續(xù)在線升溫，為工藝端供給溫度穩(wěn)定的超純水。設備采用適配超純水工況的特殊加熱結構，減少金屬離子析出，不會對高等級超純水造成二次污染，滿足半導體嚴苛水質標準。整機集成溫度實時監(jiān)測模塊，搭配多重過熱保護機制，當出現溫度異常時會觸發(fā)報警保護，有效防止干燒、超溫等故障，保障產線連續(xù)穩(wěn)定運行。設備為立式機柜一體式結構，管路接口標準化，可便捷接入原有超純水供水回路，無需復雜改造，廣泛應用于半導體晶圓制造、面板加工以及精密電子零部件清洗產線，也可用于科研實驗室高純水恒溫供水系統配套。

EKUSA EHS 系列半導體用超純水在線加熱器 超純水管路式加熱裝置 技術參數

產品核心優(yōu)勢

• 專為半導體超純水工況設計，管路在線連續(xù)加熱流動水體，適配產線連續(xù)作業(yè)；

• 特殊結構抑制金屬離子析出，不污染超純水，滿足半導體工藝高水質要求；

• 控溫性能優(yōu)異，出水溫度波動小，保障晶圓清洗工藝水溫穩(wěn)定；

• 多重溫度監(jiān)測與過熱保護，異常報警停機，降低產線故障風險；

• 立式機柜一體化整機，標準化管路接口，接入現有供水系統安裝便捷；

• 適配半導體晶圓清洗、面板濕法工藝、精密零件清洗等多類應用場景。

典型應用領域

半導體晶圓濕法清洗工藝超純水加熱；半導體、面板工廠濕法制程供水系統；實驗室高純水恒溫供水系統配套；精密電子零件清洗工序恒溫供水。