日本 Thermo Riko HC80V 一體式高真空排氣裝置 產(chǎn)品概述

HC80V高真空排氣裝置是日本Thermo Riko（株式會社サーモ理工）推出的集成一體式真空機(jī)組，設(shè)備整合干式前級真空泵、渦輪分子泵、驅(qū)動(dòng)控制系統(tǒng)、真空監(jiān)測模塊于單一機(jī)箱。無需分開選配泵體與控制器，整機(jī)成套出廠，可直接對接小型真空腔體，是GV系列真空紅外導(dǎo)入加熱裝置配套真空設(shè)備，滿足科研實(shí)驗(yàn)潔凈高真空獲取需求。

產(chǎn)品核心優(yōu)勢

• 一體化集成設(shè)計(jì)：干泵、分子泵、電控系統(tǒng)整合一體，減少管路搭配，開箱即可接入腔體使用

• 無油真空系統(tǒng)：干式前級泵結(jié)構(gòu)，無油蒸汽揮發(fā)，避免樣品、腔體污染，滿足高潔凈實(shí)驗(yàn)要求

• 臺式緊湊型機(jī)身，占用實(shí)驗(yàn)臺空間小，便于實(shí)驗(yàn)室布局?jǐn)[放

• 全自動(dòng)抽氣時(shí)序控制，自動(dòng)預(yù)抽、分子泵啟停，具備過熱、過載故障報(bào)警保護(hù)

• 風(fēng)冷散熱結(jié)構(gòu)，無需外接冷卻水，安裝部署更加簡便

• 原廠配套兼容，適配Thermo Riko GV系列真空紅外加熱設(shè)備，搭建真空原位加熱實(shí)驗(yàn)平臺

技術(shù)參數(shù)

典型應(yīng)用場景

• 真空環(huán)境材料快速熱處理、熱沖擊試驗(yàn)（搭配GV系列紅外加熱裝置）

• 薄膜、微小型試樣真空原位光學(xué)觀測實(shí)驗(yàn)

• MEMS、半導(dǎo)體器件真空快速升溫測試

• 小型真空樣品腔、表面分析實(shí)驗(yàn)腔體抽真空作業(yè)

• 各類需要無油潔凈高真空環(huán)境的科研實(shí)驗(yàn)

日本 Thermo Riko HC80V 一體式高真空排氣裝置 整機(jī)組成

• 設(shè)備主機(jī)機(jī)箱：內(nèi)置干式前級真空泵

• 渦輪分子泵單元（設(shè)備頂部）

• 液晶操作控制面板、真空壓力監(jiān)測模塊

• NW標(biāo)準(zhǔn)真空連接法蘭

• 內(nèi)置風(fēng)冷散熱系統(tǒng)、安全保護(hù)回路