產品概述
日本 Super-Clean Heater 超潔凈石英加熱器QH 系列，是日本專為半導體、液晶面板等制造業研發的超潔凈加熱元件。產品以高純度石英玻璃為主體，內置真空密封的鎢絲 / 鉬絲加熱元件，杜絕金屬污染，同時具備高耐溫、優異熱均勻性、強耐腐蝕性等特點，是半導體擴散、氧化、退火等核心工藝的關鍵加熱部件，為制程提供穩定、潔凈的加熱解決方案。
核心性能與設計亮點
- 超潔凈無金屬污染，適配制程采用 SiO?純度≥99.99% 的高純度透明石英玻璃，加熱絲真空密封在石英內部，無任何金屬部件接觸工藝環境，零金屬離子溶出，適配 12 英寸晶圓制造、制程等超高標準工藝，滿足半導體行業 SEMI 標準，從源頭避免金屬污染對芯片良率的影響。
- 高耐溫與優異熱均勻性石英本體耐溫高達 1200℃，可長期穩定工作在 800-1000℃工藝溫度；優化的加熱絲布局，實現工藝區域 ±5% 的熱均勻性，確保晶圓、面板加熱溫度一致，有效提升工藝良率與產品一致性。
- 強耐腐蝕性，適配嚴苛工藝環境石英材質耐強酸、強堿、HF等半導體常用腐蝕性化學品，可在濕法工藝、刻蝕、清洗等嚴苛環境中穩定使用，使用壽命長，大幅減少設備維護與元件更換成本，適配半導體工廠 24 小時連續生產需求。
- 真空密封結構，多場景適配采用真空密封工藝，漏率≤1×10?? Pa?m3/s，可直接用于真空腔體、常壓腔體等各類工藝環境，適配半導體擴散、氧化、退火、CVD 等多類核心工藝，一臺元件覆蓋多類加熱需求。
- 定制化設計，適配各類設備支持直型、槽型、板型等多種結構定制，可根據客戶腔體尺寸、功率需求、安裝方式量身定制，適配各類半導體 / 液晶制造設備，無需改造設備結構，降低現場施工成本。
日本 Super-Clean Heater 超潔凈石英加熱器QH 系列 技術參數與配置
設備額定功率覆蓋 100W~5000W，額定電壓可定制，使用溫度 1200℃；標配高純度石英本體、真空密封加熱絲、接線端子，可根據客戶需求定制尺寸、功率、結構；提供原廠合規性證明文件，適配晶圓廠審計要求。
售后服務
產品提供原廠技術支持，可協助客戶完成選型、安裝調試；提供定制化設計、維修、更換等全生命周期服務，保障設備長期穩定運行。
