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產(chǎn)品展示

KYKY-EM81系列場發(fā)射掃描電鏡
產(chǎn)品描述:

KYKY-EM8100高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡,采用鏡筒加速技術、低像差錐形物鏡等全新電子
光學設計,能夠在低電壓下實現(xiàn)亞納米級的成像效果,對各類材料具有廣泛的適用性,能夠滿
足多種科研和工業(yè)領域的測試需求。

  • 產(chǎn)品型號

  • 更新時間

    2025-05-09
  • 廠商性質(zhì)

    生產(chǎn)廠家
  • 瀏覽次數(shù)

    30
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詳細介紹

一、產(chǎn)品特點

亞納米級分辨率

低像差錐形物鏡

大束流

自動化控制系統(tǒng)

超大樣品倉

鏡筒加速技術  顯著降低色差 低壓下高質(zhì)量成像


二、技術參數(shù)

KYKY-EM81系列場發(fā)射掃描電鏡

三、產(chǎn)品功能

01 二次電子探測器 
· 高信噪比,高帶寬 · 大景深,表征樣品表面形貌結(jié)構(gòu)

KYKY-EM81系列場發(fā)射掃描電鏡

02 不同探測器同時成像
· 顯示SE,BSE 雙通道圖像
· 可任意設置不同探測器的信號混合比例

KYKY-EM81系列場發(fā)射掃描電鏡

· BSE探測器,反映樣品表面的成分特征

KYKY-EM81系列場發(fā)射掃描電鏡

03 陰極熒光成像

KYKY-EM81系列場發(fā)射掃描電鏡

04 大圖拼接
可連續(xù)自動采圖,避免人工操作的繁瑣和誤差。 · 實現(xiàn)多個圖像準確拼接,生成高分辨率的大圖。

KYKY-EM81系列場發(fā)射掃描電鏡

05 粒度分析
采用深度學習的復合圖像處理算法,自動識別比例尺,精準識別圖像中的顆粒,多種形態(tài)參數(shù)的統(tǒng)計與導出,更全面的進行粒度
和粒形統(tǒng)計。

KYKY-EM81系列場發(fā)射掃描電鏡

06 關鍵尺寸測量

具備距離,角度,水平線/垂直線等豐富的圖像測量功能

KYKY-EM81系列場發(fā)射掃描電鏡

四、定制能力

1、電子束曝光(EBL)

基于掃描電鏡的電子束曝光系統(tǒng)(EBL),能夠精確地控制電子束的掃描路徑和能量沉積,從而實現(xiàn)高分辨率的圖形曝光。該系統(tǒng)采用先進的電子束掃描控制技術,支持靈活多樣的圖案設計和精確控制,不僅具有電子束曝光功能,還保留了原SEM 的觀測功能,這使得用戶可以在同一臺設備上完成樣品的觀測和加工,提高了工作效率和便利性。

KYKY-EM81系列場發(fā)射掃描電鏡

2、真空互聯(lián)

·真空互聯(lián)掃描電鏡用于對樣品車傳遞過來的產(chǎn)品進行自動檢測,分析其表面晶粒形態(tài)大小分布等信息,評估其薄膜的膜質(zhì)量情況。

·真空互聯(lián)系統(tǒng)可以在真空狀態(tài)下對樣品進行預處理,并傳遞到掃描電鏡內(nèi)進行觀測。

·自動檢測和反饋系統(tǒng),對樣品標簽、位置狀態(tài)、樣品交接進行監(jiān)控和記錄,可以清晰的了解樣品傳輸狀況。

KYKY-EM81系列場發(fā)射掃描電鏡

3、激光聯(lián)用-超快電鏡

·超快電鏡利用激光、電場等外界刺激使樣品達到激發(fā)態(tài)。使用時間延遲可調(diào)的另一束激光作用于電

鏡燈絲,產(chǎn)生脈沖電子束照射于樣品表面進而收集表面逸出的二次電子對激發(fā)瞬態(tài)進行表征。

KYKY-EM81系列場發(fā)射掃描電鏡

五、應用案例

KYKY-EM81系列場發(fā)射掃描電鏡

KYKY-EM81系列場發(fā)射掃描電鏡



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