靜電卡盤專用±1KV高壓雙路電源｜半導體ESC靜電卡盤驅動供電設備

靜電卡盤專用 ±1KV 高壓雙路電源 半導體 ESC 靜電卡盤驅動電源 產品簡介：靜電卡盤專用±1KV高壓雙路電源是面向半導體設備靜電卡盤（ESC）開發的專用高壓驅動電源。半導體工藝中，晶圓需要依靠靜電卡盤產生靜電力完成基板吸附固定，本電源提供雙路獨立±1KV高壓輸出，為靜電卡盤提供極性可控的高壓激勵，實現晶圓可靠吸附與工藝結束后的脫附釋放。電源輸出電壓可調節，輸出紋波低，電壓輸出穩定，避免電壓波動造成晶圓夾持不穩、偏移等問題。設備集成多重安全防護，當出現過流、短路異常工況時，能夠迅速切斷高壓輸出，同時輸出故障告警信號，保護靜電卡盤組件以及晶圓工件不受損壞。設備既可以通過本地面板完成電壓參數設置，也配備外部控制接口，能夠接入半導體設備整機控制系統，實現設備自動化聯動，適配產線自動化運行需求。整機采用機架式機箱結構，方便安裝于半導體設備機柜內部，適合設備集成商配套集成使用。設備針對半導體車間工況做可靠性優化，支持長時間不間斷連續工作，是半導體工藝設備中靜電卡盤系統的配套供電單元。

技術參數

靜電卡盤專用 ±1KV 高壓雙路電源 半導體 ESC 靜電卡盤驅動電源 產品核心優勢

• 雙路獨立高壓輸出，匹配靜電卡盤雙極驅動，保障晶圓吸附、脫附動作穩定可靠；

• ±1KV電壓連續可調，輸出紋波低，電壓輸出平穩，減少夾持過程電壓擾動；

• 多重安全保護，過流、短路故障快速切斷高壓，輸出故障信號，保護卡盤與晶圓；

• 本地操作+外部控制雙模式，可對接整機控制系統，實現設備自動化聯動；

• 機架式機箱，結構緊湊，便于半導體設備機柜內部集成配套；

• 針對半導體工況優化，可長時間連續運行，滿足產線設備高可靠性需求。

典型應用領域

半導體工藝設備靜電卡盤ESC驅動供電；各類晶圓、基板靜電吸附夾持系統供電；真空工藝腔體內部靜電卡盤配套電源；半導體設備整機集成配套使用場景。