ADTEC TX系列高周波射頻電源｜等離子工藝射頻發(fā)生裝置

日本 ADTEC TX 系列高周波射頻電源 13.56MHz 等離子射頻電源 產(chǎn)品簡(jiǎn)介：TX系列高周波射頻電源是日本ADTEC面向半導(dǎo)體與真空工藝開(kāi)發(fā)的射頻功率發(fā)生設(shè)備，主流輸出頻率13.56MHz，是等離子工藝的核心供電單元。設(shè)備具備自動(dòng)阻抗匹配能力，當(dāng)腔體負(fù)載發(fā)生波動(dòng)時(shí)，自動(dòng)完成匹配調(diào)節(jié)，保障輸出功率穩(wěn)定，減少工藝波動(dòng)。主機(jī)配置LCD顯示面板，操作人員在本地即可完成功率參數(shù)設(shè)置，實(shí)時(shí)讀取實(shí)際輸出功率、設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)，出現(xiàn)故障時(shí)直接輸出故障代碼，便于排查問(wèn)題。整機(jī)集成多重安全防護(hù)機(jī)制，遇到過(guò)載、過(guò)溫、功率超限等異常情況，會(huì)觸發(fā)報(bào)警并停機(jī)，避免設(shè)備損壞。設(shè)備預(yù)留通訊接口，可對(duì)接上位機(jī)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程啟停、功率參數(shù)修改，適配自動(dòng)化產(chǎn)線集成。采用標(biāo)準(zhǔn)機(jī)架式機(jī)箱，方便安裝于設(shè)備機(jī)柜內(nèi)部，廣泛配套濺射鍍膜、等離子刻蝕、等離子清洗、PVD/CVD薄膜沉積等各類真空設(shè)備，是半導(dǎo)體、新材料研發(fā)生產(chǎn)環(huán)節(jié)重要的射頻電源設(shè)備。

日本 ADTEC TX 系列高周波射頻電源 13.56MHz 等離子射頻電源 技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品核心優(yōu)勢(shì)

• 日本ADTEC原廠TX系列射頻電源，專為真空等離子工藝設(shè)計(jì)，功率輸出穩(wěn)定性高；

• 內(nèi)置自動(dòng)阻抗匹配，負(fù)載變化時(shí)自動(dòng)調(diào)節(jié)，維持工藝功率穩(wěn)定；

• LCD本地顯示面板，參數(shù)設(shè)置簡(jiǎn)單，故障代碼直觀，便于設(shè)備維護(hù)排查；

• 完備多重保護(hù)，過(guò)載過(guò)溫自動(dòng)報(bào)警停機(jī)，提升整機(jī)運(yùn)行安全性；

• 支持上位機(jī)通訊遠(yuǎn)程控制，適配自動(dòng)化產(chǎn)線，方便系統(tǒng)集成；

• 機(jī)架式機(jī)箱，適配各類真空鍍膜、刻蝕、等離子處理設(shè)備配套。