Filgen UV Ozone Cleaner 紫外臭氧清洗機(jī)｜UV臭氧表面處理機(jī)

日本 Filgen UV Ozone Cleaner 紫外臭氧清洗機(jī) UV 臭氧表面處理機(jī) 產(chǎn)品簡介：UV Ozone Cleaner為日本Filgen原裝紫外臭氧清洗機(jī)，屬于干式表面處理設(shè)備，依靠紫外光源激發(fā)生成臭氧，通過光氧化反應(yīng)分解樣品表面有機(jī)污染物，完成試樣清洗與表面改性，全程不需要酒精、丙酮等化學(xué)溶劑，不會產(chǎn)生化學(xué)廢液。設(shè)備搭載185nm、254nm雙波段紫外燈管，185nm紫外光促使腔體內(nèi)氧氣生成臭氧，254nm紫外光直接破壞有機(jī)物分子鏈，二者協(xié)同作用，高效清除基板表面油脂、手印殘留、有機(jī)雜質(zhì)，同時提升材料表面親水性，改善后續(xù)鍍膜、粘接、涂層結(jié)合力。設(shè)備為密閉箱式腔體結(jié)構(gòu)，配置樣品放置托盤，將試樣放入腔體關(guān)門后，設(shè)置處理時間即可啟動運行；設(shè)備帶有專用排氣接口，可以外接臭氧尾氣處理裝置，避免臭氧擴(kuò)散到實驗室內(nèi)，保障操作人員安全。整機(jī)臺式結(jié)構(gòu)，直接安放于實驗臺，操作簡單，處理工藝可復(fù)現(xiàn)，大量應(yīng)用于光電、半導(dǎo)體、薄膜材料、高分子、高校科研實驗室的樣品前處理工作。

日本 Filgen UV Ozone Cleaner 紫外臭氧清洗機(jī) UV 臭氧表面處理機(jī) 技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品核心優(yōu)勢

• 日本Filgen原廠設(shè)備，光電材料實驗室常用干式表面清洗設(shè)備，無需化學(xué)溶劑，無廢液污染；

• 雙波段紫外協(xié)同臭氧氧化，高效去除基板表面有機(jī)殘留，同時實現(xiàn)材料親水化表面改性；

• 密閉處理腔體，配套排氣接口，可對接臭氧處理裝置，降低實驗室臭氧泄漏風(fēng)險；

• 定時工作模式，處理時間精準(zhǔn)可控，實驗重復(fù)性好，適合科研標(biāo)準(zhǔn)化樣品前處理；

• 腔體內(nèi)部配置樣品托盤，硅片、玻璃、薄片試樣擺放便捷，兼容多種尺寸試樣；

• 臺式小型箱體，占用臺面空間小，開箱即可投入材料、光電、半導(dǎo)體相關(guān)實驗。

典型應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體光電實驗室硅片、ITO導(dǎo)電玻璃、石英基板有機(jī)污染物去除；薄膜、涂層實驗基底預(yù)處理，提高薄膜附著力；高分子材料表面親水化改性；各類科研試樣干式清洗；高校、科研院所材料、化學(xué)、光電方向課題樣品前處理。