日本 HONDA 本多電子 W?357BM 系列高頻分離型兆聲波清洗機 1MHz 半導體晶圓清洗系統 產品概述
W?357BM系列是日本HONDA本多電子面向半導體潔凈工藝開發的高頻分離型兆聲波清洗系統，由振蕩器主機和定制化換能器振板單元組成，工作頻率1MHz兆聲，溫和去除亞微米級微顆粒，對晶圓、鏡面工件損傷極低。采用數字閉環振蕩控制，長時間連續運行輸出穩定；配備4?20mA模擬量、遠程IO、振蕩狀態檢測輸出，支持PLC遠程控制，振板單元可根據清洗槽尺寸定制，廣泛用于潔凈車間批量槽式清洗產線集成。
日本 HONDA 本多電子 W?357BM 系列高頻分離型兆聲波清洗機 1MHz 半導體晶圓清洗系統 產品核心優勢
1MHz兆聲工藝，亞微米顆粒去除能力強，空化作用柔和，保護晶圓、鏡面等易損傷工件
分離式系統架構，振蕩器與振板分開，振板按槽體尺寸定制，適配新建設備與舊產線改造集成
數字閉環振蕩控制，頻率與功率輸出穩定，滿足半導體產線長時間不間斷運行要求
齊全工業電氣接口，4?20mA、遠程IO、振蕩檢測輸出，對接PLC/MES，實現自動化管控
兩檔功率可選，600W適配中小型槽體，1200W適配大容積批量清洗槽
技術參數
| 項目 | W?357BM?600 | W?357BM?1200 |
|---|---|---|
| 標稱振蕩頻率 | 1?MHz | 1?MHz |
| 額定輸出功率 | 600?W | 1200?W |
| 振蕩模式 | 單頻穩定振蕩 | 單頻穩定振蕩 |
| 顯示單元 | VFD熒光顯示屏 | VFD熒光顯示屏 |
| 供電規格 | AC200?240V單相 1200VA | AC200?240V單相 2400VA |
| 電氣接口 | 4?20mA、遠程IO、振蕩檢測輸出 | 4?20mA、遠程IO、振蕩檢測輸出 |
| 系統組成 | 振蕩器主機+定制振板單元 | 振蕩器主機+定制振板單元 |
| 工作環境 | 0?40℃，無凝露 | 0?40℃，無凝露 |
典型應用場景
半導體行業：硅晶圓、藍寶石晶圓批量兆聲清洗，去除亞微米顆粒、助焊劑殘留
HDD硬盤產業：磁頭、硬盤零部件精密清洗工藝
鏡面鋁材、易損傷精密器件低損傷清洗
潔凈車間自動化槽式清洗產線設備集成配套
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