- 更新時(shí)間2024-05-30
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掃描電鏡( SEM )是用電子槍射出電子束聚焦后在樣品表面上做光柵狀掃描的一種方法，它通過(guò)探測(cè)電子作用于樣品所產(chǎn)生的信號(hào)來(lái)觀(guān)察并分析樣品表面的組成，形態(tài)和結(jié)構(gòu)。 入射電子作用于樣品會(huì)激發(fā)多種信息，如二次電子，背散射電子，吸收電子，俄歇電子，陰極熒光，特征 X 射線(xiàn)等等。 掃描電鏡( SEM )主要是通過(guò) 二次電子，背散射電子和特征 X 射線(xiàn)( XRD )信號(hào)來(lái)分析試樣表面特性。
場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡(FE-SEM)是一種高分辨率的顯微鏡，其基本原理是利用高能束電子射向樣品表面，觀(guān)察和分析樣品表面形貌、微結(jié)構(gòu)和成分等特征。FE-SEM的一個(gè)特點(diǎn)是使用場(chǎng)發(fā)射電子源，其產(chǎn)生的電子束密度比普通掃描電鏡要小得多，因此可以提高分辨率和表面成像質(zhì)量。
場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡(FESEM)是電子顯微鏡的一種。該儀器具有高分辨率，能做各種固態(tài)樣品表面形貌的二次電子像、反射電子象觀(guān)察及圖像處理。該儀器利用二次電子成像原理，在鍍膜或不鍍膜的基礎(chǔ)上，低電壓下通過(guò)在納米尺度上觀(guān)察生物樣品如組織、細(xì)胞、微生物以及生物大分子等，獲得忠實(shí)原貌的立體感強(qiáng)的樣品表面超微形貌結(jié)構(gòu)信息。 具有高性能x射線(xiàn)能譜儀，能同時(shí)進(jìn)行樣品表層的微區(qū)點(diǎn)線(xiàn)面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌、化學(xué)組分綜合分析能力。
掃描電子顯微鏡因其分辨率高、景深大、圖像更富立體感、放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬等優(yōu)點(diǎn)而被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、無(wú)機(jī)非金屬材料及器件等的檢測(cè)。隨著我國(guó)經(jīng)濟(jì)的迅速發(fā)展，高校、科研單位、企業(yè)等大量引進(jìn)了場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡。但是在掃描電子顯微鏡的使用過(guò)程中，特別是在安裝初期，使用者通常由于對(duì)電鏡的運(yùn)行狀態(tài)缺乏系統(tǒng)認(rèn)識(shí)，經(jīng)常會(huì)遇到軟件死機(jī)、樣品臺(tái)被卡、真空問(wèn)題等多種故障。解決方式一般為請(qǐng)維修工程師上門(mén)維修，除花費(fèi)時(shí)間和費(fèi)用外，也造成了對(duì)電鏡操作者的心里束縛。
