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    日本Frontier-s ZD-IDS系列：移動式無圖案表面缺陷檢測系統

    發布時間： 2026-02-09　　點擊次數： 201次
    工業精細化生產中，無圖案基材（裸晶圓、光學玻璃等）的缺陷檢測的難點的在于無參考圖形、檢測靈活性不足，日本Frontier-s ZD-IDS系列移動式無圖案表面缺陷檢查系統，以創新光學技術與靈活設計，為多行業提供精準、高效的質檢解決方案。

    一、產品核心定位

    ZD-IDS系列以“移動式+無圖案精準檢測"為核心，可靈活移動至檢測現場，無需搬運檢測對象，降低基材損傷風險；搭配專屬光學算法與傳感技術，精準捕捉微小缺陷，無圖案表面移動式檢測空白，兼顧靈活性與精度。

    二、核心技術亮點

    系統融合多項核心技術，實現“無參考、高精準、快響應"檢測，關鍵亮點如下：

    （一）高精度光學檢測

    采用明暗場協同照明與量子點CCD傳感器，自動切換檢測模式，可捕捉微小顆粒、劃痕、凹陷等缺陷，最小檢測精度達10μm，遠超人工檢測水平。

    （二）專屬無圖案識別算法

    摒棄傳統圖像對比，通過基材光學特性建模識別缺陷，誤判率≤0.1%、漏檢率≤0.05%，支持在線模型更新，適配多品類基材檢測。

    （三）移動式集成設計

    輕量化機身搭配可調節滾輪，可靈活轉運至各檢測工位，無線傳輸+便攜式操作終端，支持遠程控制與數據追溯，適配0-40℃工業環境穩定運行。

    （四）全流程自動化

    自動完成圖像采集、缺陷識別與結果輸出，檢測效率較人工提升5-10倍，可替代3-5名檢測人員，支持流水線在線檢測，不中斷生產。

    三、核心優勢

    • 精準：10μm級檢測精度，誤判率、漏檢率遠優于行業平均；

    • 靈活：移動式設計，無需搬運，適配大型基材與現場檢測；

    • 高效：自動化檢測，支持在線批量檢測，大幅提升質檢效率；

    • 易用：操作簡便、數據可追溯，維護便捷，無需專業培訓。

    四、核心應用場景

    廣泛適配多行業無圖案基材檢測，核心場景包括：

    （一）半導體行業

    無接觸檢測裸晶圓表面顆粒、劃痕等缺陷，助力提升芯片制造良率。

    （二）金屬加工行業

    現場檢測拋光金屬件、模具的劃痕、氧化斑點等，避免不合格產品流入下工序。

    （三）光學元件行業

    精準檢測光學玻璃、鏡片的微小缺陷，保障光學性能穩定。

    （四）塑膠制品行業

    流水線在線檢測拋光塑膠件的劃痕、色差等，優化生產流程，降低人工成本。

    五、總結與展望

    ZD-IDS系列憑借核心技術突破，解決了無圖案基材檢測的行業痛點，為各行業提供高效可靠的質檢支撐。未來將持續融合前沿技術，優化檢測精度與速度，拓展定制化方案，助力工業質檢智能化升級。


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